當今，隨著時代的進步，社會已進入以半導體技術為核心的信息時代，在半導體制造生產過程中需要使用多種特殊氣體，會產生大量的廢氣。如果處理不當，沒有經過尾氣處理設備就高濃度排放，會對環境以及我們的健康造成很大影響。

隨著半導體制程工藝的不斷細化，廢氣治理工作的深入，為了避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應，所以，制程中特氣廢氣需先在Local Scrubber 尾氣處理設備（常用吸附式）做處理，再接續至廠務端做第二道處置。那么，吸附式尾氣處理設備Local Scrubber 有什么優勢呢?

吸附式尾氣處理設備的優點：

1.  吸附劑處理，無廢水。以材質 SUS304、容量100L的吸附桶完全處理設備尾氣，處理過程中不需要耗用水資源，沒有廢水處理問題；

2.  節省能源，無明火。在無塵室內處理廢氣時不產生火源，沒有明火，沒有高耗能的需求；

3.  系統功能齊全。尾氣處理設備以PLC 觸控面板為主體搭配人機接口控制系統，各管路進、出口設計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設備運行時各種狀況，隨時監控，全面監控；

4.  尾氣出口處安裝變頻風機，可根據進出口壓力，調整風機轉速，能提升藥劑使用壽命、穩定處理廢氣壓力和避免廢氣回流

5.  指示劑：配備PH3, AsH3氣體監控變色球指示劑，替代傳統電化學計。

通過以上描述，相信大家對吸附式尾氣處理設備Local Scrubber 所具備的優點有一定的了解，在半導體行業根據氣體性質等條件選擇合適的尾氣處理設備更加穩定可靠。感謝您的閱讀！