當(dāng)今，隨著時代的進(jìn)步，社會已進(jìn)入以半導(dǎo)體技術(shù)為核心的信息時代，在半導(dǎo)體制造生產(chǎn)過程中需要使用多種特殊氣體，會產(chǎn)生大量的廢氣。如果處理不當(dāng)，沒有經(jīng)過尾氣處理設(shè)備就高濃度排放，會對環(huán)境以及我們的健康造成很大影響。

隨著半導(dǎo)體制程工藝的不斷細(xì)化，廢氣治理工作的深入，為了避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏，局部聚積或相互反應(yīng)，所以，制程中特氣廢氣需先在Local Scrubber 尾氣處理設(shè)備（常用吸附式）做處理，再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處置。那么，吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 有什么優(yōu)勢呢?

吸附式尾氣處理設(shè)備的優(yōu)點：

1.  吸附劑處理，無廢水。以材質(zhì) SUS304、容量100L的吸附桶完全處理設(shè)備尾氣，處理過程中不需要耗用水資源，沒有廢水處理問題；

2.  節(jié)省能源，無明火。在無塵室內(nèi)處理廢氣時不產(chǎn)生火源，沒有明火，沒有高耗能的需求；

3.  系統(tǒng)功能齊全。尾氣處理設(shè)備以PLC 觸控面板為主體搭配人機(jī)接口控制系統(tǒng)，各管路進(jìn)、出口設(shè)計壓力、溫度、CDA流量、N2流量傳感器，針對設(shè)備運行時各種狀況，隨時監(jiān)控，全面監(jiān)控；

4.  尾氣出口處安裝變頻風(fēng)機(jī)，可根據(jù)進(jìn)出口壓力，調(diào)整風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速，能提升藥劑使用壽命、穩(wěn)定處理廢氣壓力和避免廢氣回流

5.  指示劑：配備PH3, AsH3氣體監(jiān)控變色球指示劑，替代傳統(tǒng)電化學(xué)計。

通過以上描述，相信大家對吸附式尾氣處理設(shè)備Local Scrubber 所具備的優(yōu)點有一定的了解，在半導(dǎo)體行業(yè)根據(jù)氣體性質(zhì)等條件選擇合適的尾氣處理設(shè)備更加穩(wěn)定可靠。感謝您的閱讀！