電子特種氣體管道系統的配置規范及要求

電子特種氣體管道系統非常講究安全，對設備配置有很多規范，在操作設計上也有很多的要求，這里主要介紹下電子特種氣體管道系統的配置規范及要求。

特種氣體輸送系統概述

在現代半導體、科研實驗室、綜合廠房的集中供氣系統中，氣瓶柜、氣瓶架已經成為鋼瓶氣體的標配，那么這些GR、GC的配置有什么要求呢?相信很多業主和用戶并沒有一個清晰的概念，只有了解了規范化的要求，才能在廠房、實驗室的建設中合理規劃布局、安全使用。

特種氣體輸送系統設備配置規范

1、GC、GR可采用單工藝氣瓶外置吹掃氮氣(源)瓶(單瓶式)、雙工藝氣瓶外置吹掃氮氣、雙工藝氣瓶內置吹掃氮氣等多種結構配置。

2、GC、GR 應設置作業用氣體面板。

3、系統的供應能力應經過熱力學和流體力學計算核實。

4、氣瓶柜閉門時應保持不低于100Pa負壓，柜內的排風換氣次數不得低于300次/H 。

5、GC板材厚度不得低于2.5mm，并有放腐蝕涂層。

6、GC門應具備自動關閉功能，并配備防爆玻璃觀察窗，地腳螺栓設計應滿足當地地震設防烈度的要求。


特氣系統安全要求

1、不相容氣體瓶嚴禁放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中。

2、自然性、可燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應在排風出口設置氣體泄露偵測器。

3、GC、GR應設置清晰明確的安全標識牌

以上就是沃飛科技為大家講解的電子特種氣體管道系統的配置規范及要求