閥門分配箱(VMB)通常用于輸送特殊氣體。在半導體、光伏太陽能、 IC芯片的生產領域中，VMB廣泛用于磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆的、有毒氣體等應用中。近年來，智研數據研究中心隨著中國VLSI、平板顯示器、光伏發電等行業的快速發展，對電子燃氣市場的需求明顯增加，電子特種氣體的本地化已成為趨勢時代。

　　據了解，中國在本地化方面取得了可喜的進展：國內高純度氨氣改變了外國天然氣公司的壟斷市場，高純度四氟化碳“寶貴而無貨”的時代也結束了。高純度氯化氫已在中國成功開放。市場。因此，閥門分配系統的應用將越來越廣泛。

　　設計參考：

　　特殊氣體VMB應設計有進氣管隔離閥和壓力指示裝置;氣路應配備一個獨立的壓力控制調節閥、過濾器、過流開關;氣體分支應設有獨立的出口隔離閥;管道上應配備單獨的吹掃氣設備、輔助真空設備等。

　　對于惰性氣體，應提供進氣管路隔離閥和壓力指示裝置;氣路應配備獨立的壓力控制調節閥、過濾器;氣體分歧應配備獨立的出口隔離閥。

　　電子氣體，特別是危險的特殊氣體，是集成電路、光電、微電子學，尤其是VLSI、液晶顯示設備、半導體發光器件和半導體材料的制造工藝中必不可少的基本支撐材料，這種材料被稱為電子工業的“血液”和“食品”，其純度和清潔度直接影響著光電產品的質量。、微電子元件的質量、集成度、的具體技術指標和良率，從根本上限制了電路和器件的準確性和準確性。 VMB的引入是一對多，點對點分支的核心單元。不僅保證了多點用氣，而且確保了用氣的安全。