隨著信息化時代的到來，微電子行業也在迅速發展，微電子廠給社會帶來的經濟效益及就業率是有目共睹的，但隨之而來的還有對大氣的污染。對于微電子行業工藝過程中揮發的各類廢氣，如果這些廢氣未經尾氣處理設備凈化處理，就直接排放入大氣中勢必會對周邊環境造成污染，且會對人身體健康造成影響和危害。

主要來源：

在微電子行業中造成環境污染的有害氣體，主要來源于芯片或者是線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。

主要成分：

微電子行業廢氣排放的主要成分：有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

對于以上這些殘存的氣體如果于管線中反應，輕者可能造成風管堵塞、管路腐蝕等問題，嚴重者甚至發生泄漏及火災爆炸，停止生產的后果。因此在工作區域需配置適合工藝氣體特性的小型尾氣處理設備(Local Scrubber)，以減少在工作區域滯留的廢氣確保人員安全。

吸附式尾氣處理設備(Local Scrubber)可處理氣體種類多樣，吸附工藝主要原理就是利用多孔固體吸附劑（活性碳、硅膠、分子篩等）來處理廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且將其吸附在吸附劑的表面，從而達到凈化廢氣的目的。

綜上所述，微電子行業工藝過程中因使用一些化學藥劑（如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物）揮發和特種氣體殘留的廢氣，會對大氣環境造成污染，而且這些污染氣體還會造成人群慢性或急性中毒，所以，需經尾氣處理設備凈化處理后，方可排入大氣。