電子特氣工藝系統(tǒng)組成及要求

電子特氣工藝系統(tǒng)一般性要求

電子特氣工藝系統(tǒng)是用來處理特殊氣體的一個系統(tǒng)，這里主要介紹下工藝氣體系統(tǒng)及特種氣體工藝系統(tǒng)的組成及以下設計方面的要求。

電子特氣工藝系統(tǒng)簡介

　　我們知道一般工藝氣體都是儲存在鋼瓶中，在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專用裝置儲存鋼瓶，在過去十多年中，蓋斯帕克沒有發(fā)明集中供氣之前，特種氣體供應沒有形成有效的系統(tǒng)，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問題非常嚴重，極大的影響到用氣安全。
　　

電子特氣工藝系統(tǒng)統(tǒng)組成

　　

       1、儲存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。

　　2、氣體分配用閥門箱、閥門盤。

　　3、輔助氮氣吹掃系統(tǒng)。

　　4、尾氣處理裝置。

電子特氣工藝系統(tǒng)要求

　　1、電子特氣工藝系統(tǒng)的設計應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特氣工藝的參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。

　　2、不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。

　　3、不相容的特種氣體的排風管道不得接入同一排風系統(tǒng)。