VMB氣體閥門分配箱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、電子行業(yè)、醫(yī)療等生產(chǎn)領(lǐng)域中，以客戶實(shí)際上的需求來(lái)設(shè)計(jì)2、3、4、5或其他點(diǎn)數(shù)的數(shù)目，可同時(shí)數(shù)臺(tái)機(jī)臺(tái)供應(yīng)氣體，亦可加調(diào)壓閥做二次調(diào)壓讓壓力更加的穩(wěn)定，設(shè)定上下警報(bào)訊號(hào)做更有效的供應(yīng)控制。

VMB氣體閥門分配箱的應(yīng)用：

在電子特氣的輸送中，VMB的引入是一對(duì)多，點(diǎn)對(duì)點(diǎn)分支的核心單元。不僅保證了多點(diǎn)用氣，而且確保了用氣的安全。

電子氣體，特別是危險(xiǎn)的特殊氣體，如磷化氫、硼烷、硅烷、硫化氫、硫化氫、易燃易爆的、有毒氣體等，在半導(dǎo)體生產(chǎn)中至關(guān)重要。電子特氣是廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的工業(yè)氣體，常用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝，是至關(guān)重要的原材料。這種材料被稱為電子工業(yè)的“血液”，電子特氣的質(zhì)量稍有差池，輕則導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量不過(guò)關(guān)，重則擴(kuò)散污染整sss條產(chǎn)品線，甚至報(bào)廢，造成巨額損失。因此，電子特氣在電子工業(yè)中的作用舉足輕重，是名副其實(shí)的“電子工業(yè)的血液”。

VMB氣體閥門分配箱功能設(shè)計(jì)：

VMB氣體閥門分配箱有手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)三種類型，它們之間的區(qū)別在于是否通過(guò)PLC面板控制和系統(tǒng)功能的多少，用戶可根據(jù)使用氣體性質(zhì)求和工藝需求進(jìn)行選擇和配置。

對(duì)于特殊氣體，VMB應(yīng)設(shè)計(jì)有進(jìn)氣管隔離閥和壓力指示裝置；氣路應(yīng)配備一個(gè)獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器、過(guò)流開(kāi)關(guān)；氣體分支應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥；管道上應(yīng)配備單獨(dú)的吹掃氣設(shè)備、輔助真空設(shè)備等。

對(duì)于惰性氣體，VMB應(yīng)提供進(jìn)氣管路隔離閥和壓力指示裝置；氣路應(yīng)配備獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器；氣體分支應(yīng)配備獨(dú)立的出口隔離閥。

以上，便是關(guān)于VMB氣體閥門分配箱的設(shè)計(jì)和應(yīng)用的簡(jiǎn)單介紹，感謝您的閱讀！