LED外延片生產(chǎn)過(guò)程中金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝會(huì)產(chǎn)生大量廢氣，其主要成分為氨氣NH3、氫氣H2，二者均是重要的生產(chǎn)原料，回收利用價(jià)值高，不能直排，須通過(guò)尾氣處理設(shè)備進(jìn)行無(wú)害化處理，方可通入大氣。

目前，工業(yè)上尾氣處理設(shè)備的常用的方法有燃燒法、水吸收法和化學(xué)法等，以及這些方法的組合應(yīng)用等。

1、燃燒法

MOCVD廢氣中的H2、氫化物、金屬有機(jī)化合物等可采用燃燒法處理，同時(shí)氨氣在高溫下發(fā)生氧化分解反應(yīng),生成無(wú)害的CO2, N2和H2O等。

2、水吸收法

水吸收法是MOCVD廢氣處理最常用的方法，廢氣中少量的MO源成分經(jīng)水吸收后可完全去除;同時(shí)NH,易被吸收形成氨水,但仍有少量殘留,不能直接排放,且H2需要進(jìn)一步處理。

3、化學(xué)法(酸吸收法)

化學(xué)法采用化學(xué)試劑與廢氣中的氨發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成較為穩(wěn)定的化學(xué)物質(zhì)后沉淀分離,使得廢氣中的NH3得到脫除。

關(guān)于各類廢氣處理方法和尾氣處理設(shè)備，皆有優(yōu)缺點(diǎn)和適用范圍。如以上三種方法都可使廢氣達(dá)標(biāo)，但在資源回收上都各有些欠缺：（1）燃燒法不能回收NH3和H2，資源浪費(fèi)嚴(yán)重；（2）水吸收法能得到低濃度氨水產(chǎn)品，但一般需提濃處理后才能回用于工業(yè)生產(chǎn)；（3）酸吸收法回收得到銨鹽溶液，需進(jìn)--步分離和提純才形成銨鹽產(chǎn)品，而銨鹽分離提純過(guò)程存在能耗大、費(fèi)用高等問(wèn)題，且銨鹽品質(zhì)有待提高。

在尾氣處理設(shè)備中還有一種Local Scrubber的小型尾氣處理時(shí)設(shè)備，處理小流量廢氣，為就近初步處理工藝廢氣，避免廢氣在管道中滯留發(fā)生變化導(dǎo)致事故，有時(shí)也作為廢氣應(yīng)急設(shè)備。其中，吸附式的尾氣處理設(shè)備就是采用種類多樣的吸附材（吸附劑）來(lái)吸附所要處理廢氣中的氣體組分，有幾乎可處理所有廢氣，處理效率高、處理過(guò)程中無(wú)明火、無(wú)廢水和低耗能等特點(diǎn)。

綜上，LED外延片生產(chǎn)過(guò)程中金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)工藝廢氣中含有大量NH3和H2，須通過(guò)尾氣處理設(shè)備中處理方法凈化后方可排入大氣。最后，感謝您的閱讀！